【操作模式】：手动
【生产精度】：最高56纳米
【生产企业】：倍力士[德意志]
【纳税金额】：250000元软妹币
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【设备名称】：光刻一体机
【设备功能】：硅晶圆芯片制造
【操作模式】：半自动
【生产精度】：最高28纳米
【生产企业】：尼康[日和国]
【纳税金额】：530000元软妹币
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【设备名称】：光刻一体机
【设备功能】：硅晶圆芯片制造
【操作模式】：全自动
【生产精度】：28纳米
【生产企业】：佳能[日和国]
【纳税金额】：680000元软妹币
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【设备名称】：光刻一体机
【设备功能】：硅晶圆芯片制造
【操作模式】：全自动